![]() APT匀胶旋涂仪
Spin Processor匀胶旋涂仪POLOS系列
德国POLOS系列匀胶旋涂仪提供了先进、可重复的工艺流程控制方案.
一个高效的空气动力学腔体确保旋涂的高度均匀性，天然聚丙烯
（NPP）或聚四氟⼄乙烯（PTFE）材质，整机无⾦金属裸露，无交叉污染，
易清洗维护，为用户带来全新的操作体验.
操作控制器可拆卸，全尺寸的触摸屏，可戴手套操作，耐化学性。
系统参数表
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SPIN150i
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SPIN200i
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程序段数：
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无限制
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无限制
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操作步数：
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无限制
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无限制
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旋转速度：
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0-12,000 rpm ±1rpm steps
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0-12,000 rpm ±1rpm steps
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旋转精度：
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± 0.1 rpm
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± 0.1 rpm
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旋转方向：
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顺时针、逆时针、交换摆动
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顺时针、逆时针、交换摆动
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最大加速度：
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30,000 rpm/sec
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30,000 rpm/sec
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旋转时间：
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无限制*, ± 0.1 seconds steps
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无限制*, ± 0.1 seconds steps
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基片范围：
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160mm 直径or 4ʺ″ ⽅片
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260 mm 直径or 6ʺ″ ⽅片
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腔体直径：
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202 mm
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302 mm
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外形尺寸：
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274 (w) x 250 (h) x 451 (d) mm
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380 (w) x 307 (h) x 559 (d) mm
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SPIN150i-NPP
SPIN200i-NPP
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